本論文では、神経細胞を電気的に刺激するための、微小電極アレイの作製法について述べる。
我々のグループでは、電気的に神経系を刺激して視覚を回復させる「人工眼」の研究開発を行っている。人工眼の主要部品のひとつである刺激用微小電極アレイは、生体の神経細胞を電気的に刺激し、神経系に対して情報を伝えるインタフェースとなる部分である。したがって、柔軟性、化学的安定性、また生体適合性が求められる。それらの条件を満たすため、本研究では電極の基盤素材としてポリイミドを選択し、電極アレイの作製を試みた。
電極アレイの構造は、アルミニウムの導電層をポリイミドの絶縁層で包み、刺激部分のみを露出させたものである。露出部は直径１０μｍの円状、電極間距離は１００μｍであり、縦横４ｘ４、計１６個の電極を有している。作製には半導体製造プロセスで使われる、既存のフォトリソグラフィ技術を用いた。